KT500-EDLM
Kreuztische
Hochdynamisches XY-System mit 350 mm Verfahrweg, 0.3 µm Wiederholgenauigkeit, 30 kg Last
Flach, präzise und schnell
Der Kreuztisch KT500 besticht nicht nur durch ein sehr flaches und kompaktes Design. Dank 350 mm Verfahrweg sind auch große Substrate und Teile vollflächig scanbar. Er ist so konstruiert, dass alle Ablaufparameter exakt wiederholbar sind und eine vergleichbare Performance von Luftlagersystemen erreicht wird. Dank eines über eine Steckverbindung trennbaren Kabelinterface ist eine einfache Montage und ein wartungsfreier Betrieb bis zu 500.000 Vollhübe möglich.
Hochdynamisches XY-System mit hoher Lebensdauer
|
|
|
|
|
|
Anwendungsfelder
Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Differenzmessung, Ersatz für Luflagertische
KT500 | -350-EDLM-L | |
Verfahrweg | [mm] | 350 |
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [μm] | ± 0.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [μm] | ± 0.4 |
Positioniergenauigkeit | [μm] | ± 10 |
Ebenheitsabweichung | [μm] | ± 10 |
Geradheitsabweichung | [μm] | ± 5 |
Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 200 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 400 |
Max. Beschleunigung | [m/s2] | 1000 |
Max. Last Fx | [N] | 25 |
Max. Last Fy | [N] | 25 |
Max. Last Fz | [N] | 100 |
Max. Lastmoment Mx | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment My | [Nm] | 11 |
Max. Lastmoment Mz | [Nm] | 11 |
Nicken | [µrad] | ± 190 |
Gieren | [µrad] | ± 95 |
Länge | [mm] | 500 |
Breite | [mm] | 500 |
Höhe | [mm] | 90 |
Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenlos), Ironless Dynamic Linear Motor | |
Feedback | Linearmesssystem, Linear Scale |
FMC 300
Einbau-Modul für dynamische Anwendungen und hohe Lasten und Spannung.
ACS
Wir unterstützen die Integration unserer Systeme in Ihre ACS-Umgebung
SPS
Wir unterstützen die Anbindung unserer Systeme an SPS-Architekturen z.B. Beckhoff
FMC 250/280
Mehrachscontroller mit erhöhtem Strom und Spannung für Punkt–zu-Punkt Positionierung.
FMC400/450
Voll bahnfähiger Mehrachscontroller, einfaches Erstellen von eigenen Programmen.
Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen
Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!
Laden Sie unseren Produktkatalog herunter:
Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?
Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:
Unsere Referenzen