KT470-SM
Kreuztische

Flacher XY Präzisions-Kreuztisch mit 300 mm Verfahrweg, 2.3 µm Wiederholgenauigkeit, 23 kg Last
KT470-SM

Hohe Lasten mit großen Verfahrwegen

Der Kreuztisch KT470 mit Schrittmotor wird in der Messtechnik und zur Oberflächeninspektion eingesetzt. Geringe Ablaufwerte, hinsichtlich Geradheit und Ebenheit, können durch den Einsatz von Kreuzrollen erreicht werden. Dies führt zu einer überdurchschnittlichen Wiederholbarkeit, die die Grundlage für eine gute Kompensation bildet. Dies ermöglicht eine extrem hohe Genauigkeit für Messanwendungen.

  • Positionierung von Lasten bis 230 N mit einem günstigen Antrieb
  • Reduktion zufälliger Fehler auf ein Minimum
  • Sehr hohe Zuverlässigkeit mit minimalem Reibungswiderstand durch den Einsatz von geläppten Kreuzrollenführungen 

Optionen:

  • Wahlweise mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Hochauflösendes Messsystem
  • Ausführung für Reinraum, Labor oder Produktion
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Kostenoptimiert und zuverlässig positionieren

Je nach Kundenwunsch wird das XY-System mit Schrittmotor oder DC-Motor ausgerüstet. Dabei ist der Gleichstrommotor erste Wahl für Anwendungen mit hohen Drehzahlen sowie kleinen Momenten. Erfordert die Positionieraufgabe dagegen niedrige Leistungen und geringe Drehzahlen, ist der Schrittmotor die passende Variante.

Anwendungsfelder

Schnelle Scananwendungen und dynamische Bahnfahrten z.B. Halbleiterinspektion, Waferinspektion, Chipinspektion, Messanlagen, Automatische optische Inspektion (AOI), Messgeräte, Messtechnik, Inspektionssysteme, Werkzeugvermessung

 

KT470 -300-SM
Verfahrweg[mm] 308 x 308
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 3.3
Positioniergenauigkeit[µm]± 18.9
Ebenheitsabweichung[µm]± 7.5
Geradheitsabweichung[µm]± 3
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]20
Max. Geschwindigkeit[mm/s]40
Max. Beschleunigung[m/s2]0.4
Max. Last Fx[N]44
Max. Last Fy[N]44
Max. Last Fz[N]227
Max. Lastmoment Mx[Nm]11
Max. Lastmoment My[Nm]11
Max. Lastmoment Mz[Nm]10
Nicken[µrad]± 170
Gieren[µrad]± 85
Länge[mm]470
Breite[mm]470
Höhe[mm]80
Gewicht[kg]36
Führung Kreuzrolle
Motor Schrittmotor
Feedback Open Loop
Material Aluminium eloxiert
Optionale Zusatzausstattung wahlweise mit hochauflösendem Messsystem, Mutternentkopplung, Bremse, Zwangsführung, kundenspezifsche Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!

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