KT310-DC
Kreuztische

Universeller Präzisions-Kreuztisch mit 200 mm Verfahrweg, 0.7 µm Wiederholgenauigkeit, 11 kg Last
KT310-DC

Universell einsetzbarer Kreuztisch

Der Kreuztisch mit 200 mm Verfahrweg in X- und Y-Richtung ist universell einsetzbar, insbesondere für Aufgaben in der Prüf- und Messtechnik. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Speziell für Inspektionsaufgaben

  • Ideal für hochpräzise Inspektionssysteme und Mikroskopie
  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 0.7 µm
  • Leicht kombinierbar für Mehrachsanwendungen

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Hochauflösende Mikroskopie, Automatisch optische Inspektion (AOI), Inspektionssysteme für Reinraum, Wafer Inspektion

 

Modell KT310 -200-DC-R-200-DC-L
Verfahrweg[mm]200200
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.5± 0.7
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4.5± 1.2
Positioniergenauigkeit[µm]± 13.7± 3
Ebenheitsabweichung[µm]± 4± 4
Geradheitsabweichung[µm]± 3± 3
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]3030
Max. Geschwindigkeit[mm/s]6060
Max. Beschleunigung[m/s2]0.50.5
Max. Last Fx[N]4545
Max. Last Fy[N]4545
Max. Last Fz[N]110110
Max. Lastmoment Mx[Nm]5.35.3
Max. Lastmoment My[Nm]5.35.3
Max. Lastmoment Mz[Nm]5.15.1
Nicken[µrad]± 140± 140
Gieren[µrad]± 70± 70
Gewicht[kg]1818
Länge[mm]310310
Breite[mm]310310
Höhe[mm]8080
Motor DC-MotorDC-Motor
Feedback Motor-EncoderLinearmesssystem
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Verwandte Produkte


Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!

Laden Sie unseren Produktkatalog herunter:

 


Sie suchen eine technische Lösung für Ihre Anwendung?

Jetzt den ersten 3D Entwurf in nur wenigen Tagen erhalten:

 

Francisco Samuel
Beratung
Deutschland Süd

T +49 (0) 351 88585-85
E-Mail

 

Tobias Zilian
Beratung Deutschland Nord, CH, AUS

T+49 (0) 151 16755537
E-Mail

 

Unsere Referenzen