KDT235-SM
Kreuztische

Präziser Scantisch mit 50 mm Verfahrweg, Apertur 100 mm, 1.6 µm Wiederholgenauigkeit, 8 kg Last
KDT235-SM

Scantisch mit großer Durchlichtöffnung

Platzsparendes Design und eine große Apertur kennzeichnen diesen robusten Kreuztisch. Hochpräzise Kugelgewindespindeln und eine justierbare Orthogonalität gewährleisten hochgenaue Positionier- und Ablaufgenauigkeiten.

 

Speziell für Mikroskopieaufgaben

  • Ideal für Mikroskopie, optische Inspektionssysteme und Laserbearbeitung
  • Hochpräzise Wiederholgenauigkeit bis zu 1.6 µm
  • Gutes Preis-Leistungs-Verhältnis und sehr hohe Lebensdauer

Optionen:

  • Erhältlich mit DC-Motor oder Schrittmotor
  • Verfahrweg bis 100 mm (KDT310)
  • Verschiedene, hochauflösende Messsysteme
  • Ausführung für Reinraum und Vakuum auf Anfrage

Anwendungsfelder

Hochauflösende Anwendungen in der Mikroskopie, optische Inspektionssysteme, 3D-Imaging, Screening, Auflichtmessungen, Durchlichtmessung, Interferometrie, Messtechnik, Autofokus-Systeme, Biotechnologie, Halbleitertests

 

Modell KDT235-50-SM
Verfahrweg[mm] 50
Wiederholgenauigkeit unidirektional[μm]± 1.6
Wiederholgenauigkeit bidirektional[μm]± 2.1
Positioniergenauigkeit[μm]± 7.1
Ebenheitsabweichung[μm]± 3.5
Geradheitsabweichung[μm]± 2.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]10
Max. Beschleunigung[m/s2]0.2
Max. Last Fx[N]45
Max. Last Fy[N]45
Max. Last Fz[N]85
Max. Lastmoment Mx[Nm]5.2
Max. Lastmoment My[Nm]5.2
Max. Lastmoment Mz[Nm]7.2
Nicken[µrad]± 110
Gieren[µrad]± 70
Gewicht[kg]10
Länge[mm]235
Breite[mm]235
Höhe[mm]80
Durchlicht[mm]100
MotorSchrittmotor, Stepper Motor
FeedbackOpen Loop
Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden. Sprechen Sie uns an.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

Achsen für Reinraum- und Vakuumanwendungen

Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar und Reinraumklasse ISO 6 - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht unserer Vakuum- und Reinraumsysteme!

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