Doppel-XY-Linearachse zur Linseneinstellung für Wafer-Stepper zur hochpräzisen UV-Belichtung
Serienbaugruppen
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Hochpräzise Verstellung zweier Optiken
Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für Wafer-Stepper entwickelt. Zwei Linsen sollten relativ zueinander und auch gemeinsam miteinander positioniert werden, um noch feinere Strukturen bei der UV-Belichtung zu realisieren. Diese Lösung besteht aus zwei Verschiebeachsen auf einem gemeinsamen Führungssystem. Dabei haben zwei bewegte Schlitten jeweils drei Wagen, wodurch sie teilweise ineinander fahren können, um die Linsen möglichst eng zusammenzufahren.
Damit bietet dieses hochpräzise XY Positioniersystem wesentliche Vorteile:
| 1. | Maximierung des Yield sowie der Auflösung von Wafer-Stepper-Systemen |
| 2. | Genauigkeiten von 1.5 µm unter extrem trockenen Reinraumbedingungen |
| 3. | Einfache Wartung durch eine austauschbare Motor-Encoder-Baugruppe |
Einfache Wartung in extrem trockenen Umgebungen
Die Antriebe bestehen aus geschliffenen Kugelgewindetrieben, welche mit einem Gleichstrommotor mit Rotationsencoder angetrieben werden. Die Motor-Encoder-Baugruppe ist für eine einfache Wartung austauschbar gestaltet.
Diese Serienbaugruppe wird viele hunderte Stück pro Jahr gefertigt. Alle genauigkeitsrelevanten Parameter werden nach der Montage durch einen Messstand verifiziert. Dieser Messstand befindet sich im Reinraum und erfasst Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit, Geradheit, Ebenheit sowie die Stromaufnahme. Zusätzliche Prüfungen werden ausgeführt, um minimales Spiel in der Lagerung und gleichmäßigen Lauf des Antriebssystems zu gewährleisten.
| 782344:025.26 | X | Y | |
| Verfahrweg | [mm; deg] | 350 | 350 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm; deg] | ± 1.5 | ± 1.5 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm; deg] | ± 2.5 | ± 2.5 |
| Spitzengeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 200 | 200 |
| Max. Last | [kg] | 4 | 4 |
| Länge | [mm] | 486 | |
| Breite | [mm] | 192 | |
| Höhe | [mm] | 63 | |
| Motor |
|
| |
| Antrieb | Kugelgewindetrieb | Kugelgewindetrieb | |
| Feedback | Motor-Encoder | Motor-Encoder | |
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