Doppel XY Linearachse zur hochpräzisen Justage von Linsen für Wafer Stepper | ultrafeine UV-Belichtung im Reinraum
Serienbaugruppen

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Hochpräzise Verstellung zweier Optiken

Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für Wafer-Stepper entwickelt. Zwei Linsen können sowohl relativ zueinander als auch gemeinsam miteinander positioniert werden, um noch feinere Strukturen bei der UV-Belichtung zu realisieren. Diese Lösung besteht aus zwei Verschiebeachsen auf einem gemeinsamen Führungssystem. Dabei haben zwei bewegte Schlitten jeweils drei Wagen, wodurch sie teilweise ineinander fahren können, um die Linsen möglichst eng zusammenzufahren.

Ultrafeine Belichtung in extrem trockener Umgebung

  • Speziell für die Maximierung des Yield sowie der Auflösung von Wafer-Stepper-Systemen
  • Gleichzeitige Positionierung von Linsen zueinander als auch miteinander über einen Verfahrweg von 350 mm
  • Genauigkeiten von 1.5 µm unter extrem trockenen Reinraumbedingungen
  • Einfache Wartung durch eine austauschbare Motor-Encoder-Baugruppe

Besonderheiten:

  • UV-Verträglichkeit
  • Polierte Flächen
  • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware


Ausführliche Messprotokolle

Diese Serienbaugruppe wird viele hunderte Stück pro Jahr gefertigt. Alle genauigkeitsrelevanten Parameter werden nach der Montage durch einen Messstand verifiziert. Dieser Messstand befindet sich im Reinraum und erfasst Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit, Geradheit, Ebenheit sowie die Stromaufnahme. Zusätzliche Prüfungen werden ausgeführt, um minimales Spiel in der Lagerung und gleichmäßigen Lauf des Antriebssystems zu gewährleisten.

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Linsenjustage, Justage von Wafer, Wafer Positionierung, Sensorjustage

782344:025.26XY
Verfahrweg [mm; deg] 350 350
Wiederholgenauigkeit unidirektional [µm; deg] ± 1.5 ± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional [µm; deg] ± 2.5 ± 2.5
Spitzengeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 200 200
Max. Last [kg] 4 4
Länge [mm] 486
Breite [mm] 192
Höhe [mm] 63
Motor  

DC-Motor

DC-Motor

Antrieb    Kugelgewindetrieb Kugelgewindetrieb
Feedback

Motor-Encoder

Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


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Dipl.-Ing. Elger Matthes
Tel.: +49 (0) 351 88585-0
elger.matthes(at)steinmeyer.com