X Phi Positioniersystem für die Inspektion von Wafern, biologische Proben (Reinraum ISO 5) | Drehachse und Lineartisch
Inspektion

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Hochpräzise linear-rotatorische Positionierung

Dieses X Phi System erlaubt die Positionierung von Proben (z.B. Wafer, biologische Proben) in einem exakt definierten Winkel zum Sensor bzw. Kamera. Es besteht aus einer linearen X-Achse, den präzisen Standard-Lineartisch PMT160 mit Kugelumlaufspindel, sowie einer integrierten Dreheinheit mit unbegrenzten Verfahrweg, angetrieben durch Flachriemen.

Für die Reinraumtauglichkeit wurden die Kabelführungen sowohl für das mittig liegende Messsystem als auch für die bewegte Dreheinheit innerhalb der Einhausung des Linearsystems untergebracht. Faltenbälge schließen das System nach außen hin ab, damit ein Partikelausstoß verhindert werden kann.

 

Langlebiges Positionierssystem für Reinräume

  • Ideal für Inspektionsaufgaben in der Halbleitertechnik, Biotechnologie und Pharmaindustrie
  • Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm
  • Hervorragende Ebenheit des Lineartisches ermöglicht eine hochpräzise Schichtdickenmessung mit nur einem Sensor
  • Reduktion der Partikelemission auf ISO Klasse 5 durch Einhausung und Faltenbälge
  • Wartungsfreier, industrieller Dauerbetrieb und einfacher Systemaustausch auf der Grundplatte

Optional erweiterbar:

  • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Grundplatte aus Granit oder Aluminium
  • Hermetisch geschlossene Sondermotoren mit Pharmazulassung
  • Anpassbar für weitere Verfahrwege und unterschiedliche Proben
  • Ausführungen für extreme Umweltbedingungen z.B. Strahlung, Vakuum
  • Erweiterbar zur kundenspezifischen Gesamtanwendung
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsbereiche

Dieses System wurde inzwischen in mehreren Varianten für verschiedene branchenübergreifende Anwendungen über viele Jahre als Serie geliefert für z.B.: Herstellung / Inspektion / Qualitätssicherung kleiner medizinischer Komponenten, Pharmainspektion, Vermessung biologischer Proben, Ausrichten und Inspektion von optischen Komponenten, Aufbau von Montagesystemen in der Mikroelektronik, AOI (Automatisch optische Inspektion), Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Inspektion von Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen

Dieses System wurde erstmals für eine hochpräzise Schichtdickenmessung von Wafern mit nur einem Sensor entwickelt. Der Chuck wird auf dem Drehteller gedreht und in Messposition verfahren, um die Oberfläche des rotierenden Wafers optisch mit einem Sensor zu vermessen. Zusätzlich kann dieser für eine erhöhte Prozessautomation in die kundenspezifische Beladestation verfahren werden.

 

 

X

Phi

Verwendetes Standardssystem PMT160-SM DT170

Verfahrweg

[mm; deg]

200

n x 360

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.3

 

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 0.4

 

Max. Last Fz

[N]

150

150

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

25

200

Motor

 

Schrittmotor

Schrittmotor

Antrieb

 

Kugelgewindetrieb

Riemen

Feedback

 

Linearmesssystem

Open Loop

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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Dipl.-Ing. Elger Matthes
Tel.: +49 (0) 351 88585-0
elger.matthes(at)steinmeyer.com