XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum), große Verfahrwege bis 720 mm
Inspektion

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Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem (hier ohne Abdeckung gezeigt) ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer Wafer, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die Positionierung entlang zweier linearer Achsen. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen.

 

Erhöhter Throughput durch automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

  • Gleichzeitige Inspektion mehrerer 400 x 400 mm großer Wafer, Probecards und Leiterplatten durch Verfahrwege bis 720 mm
  • Verringerung der Zykluszeit mit Geschwindigkeiten bis zu 750 mm/s und Beschleunigungen mit 2 m/s2
  • Präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen mit Wiederholgenauigkeiten bis 1 µm
  • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optional erweiterbar:

  • Verschiedene Verfahrwege bis 720 mm
  • Optional mit motorisierter Z-Achse
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
  • Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium
  • Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chip, Messung von Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

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X

Y

Z

Verwendetes Standardsystem PMT290-EDLM PMT290-EDLM

Verfahrweg

[mm; deg]

720 720 100

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.3 ± 0.5 ± 0.5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 0.7 ± 0.7 ± 0.7

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

750 750 150

Max. Last

[N]

70 70 ± 270

Motor

 

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

 

 

Antrieb

 

 

manuell (optional motorisiert)

Führung ProfilschieneProfilschiene

Feedback

Linearmesssystem

Linearmesssystem

 

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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