XYZ Phi Inspektionsanlage geeignet für 12-Zoll-Wafer, Leiterplatten (Reinraum ISO 2)
Inspektion

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Universelles 4-achs-Granitportal mit Reinraumgehäuse

Dieses XYZ Phi Positioniersystem lässt sich für verschiedene Test- und Prüfprozesse in der Halbleiter- und Elektronikfertigung bis Reinraum Klasse ISO 2 einsetzen. Aufgrund der Auslegung der Verfahrwege auf bis 320 x 320 mm in XY eignet er sich für alle Standard-Wafergrößen bis 12-Zoll. Die Proben werden hochpräzise mit dem linearmotorgetriebenen Kreuztisch KT405-320-EDLM zu einem Laser, Sensor oder Kamera in der Z-Achse manipuliert. Die Justage des Sensors bzw. Kamera erfolgt in vertikaler Bewegung (maximal 50 mm) mit dem Präzisionsmesstisch PMT160-050-DC-R/L, der optional mit einem Schwenkeinheit ergänzt werden kann.

 

Hochpräzise Prüfung in anspruchsvollen Reinräumen

  • Ideal für anspruchsvolle Test- und Prüfprozesse in der Halbleitertechnik, Biotechnologie und Pharmaindustrie
 
  • Schnelle Anpassung an unterschiedlichen Mess- und Prüfaufgaben
  • Hochpräzise Vermessung mit Wiederholgenauigkeiten bis 0.3 µm bei hohen Geschwindigkeiten bis 100 mm/s
  • Sicherungskonzept mit Schutzhaube
  • Emissionsfreiheit bis Reinraum ISO Klasse 2
  • Lieferung des Systems mit Granitbasis auf Dämpfern, Stahlgestell inkl. Steuerung komplett mit Schutzhaube und lackierten Gehäuse

Optional erweiterbar:

  • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Schwenkarm für Sensor mit dem Drehachse DT200
  • Grundplatte aus Granit oder Aluminium
  • Weitere Verfahrwege und unterschiedliche Proben
  • Anpassbar für die Integration in automatisierte Prozesse
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware
 

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsbereiche

Montage/ Inspektion / Qualitätssicherung von 12-Zoll-Wafern, Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Inspektion von Chips, Dies, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen

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X

Y

Z

Phi
Verwendetes Standardsystem KT405-EDLM KT405-EDLM PMT160-DCDT200-DC

Verfahrweg

[mm; deg]

320 320 5020

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.3 ± 0.3 ± 0.30.004

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 0.4

± 0.4 ± 0.40.006

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

100 100 3.430

Max. Last

[N]

15 15 ± 15068
Motor Dynamischer Linearmotor (eisenlos) Dynamischer Linearmotor (eisenlos) DC-MotorDC-Motor
Feedback Linearmesssystem Linearmesssystem Linearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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