Hochpräzise automatische 3D Inspektion von Halbleitern

Dieses 3-Achs-Positioniersystem bewegt eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor an der Z-Achse über das Messobjekt. Basierend auf der Linearachse LA250 mit linearen Direktantrieb erreicht dieses System hohe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen bei hoher Präzision und sehr guter Reproduzierbarkeit. Für die vertikale Positionierung wird der hochpräzise Lineartisch PLT165-AC mit einem leistungsstarken AC-Servomotor als Antrieb für seinen Präzisionskugelgewindetrieb genutzt. Er besitzt eine hohe Traglast, auch für schwere Sensoren.   

Hoher Durchsatz im wartungsarmen 24/7 Betrieb

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsbereiche

Herstellung / Inspektion / Qualitätssicherung kleiner Komponenten, Inspektion von Probecards, Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Chipping / Riss- / Defekterkennung, Oberflächenprüfung, Schichtdickenmessung mit einem Sensor, Pharmainspektion, Vermessung biologischer Proben, Ausrichten und Inspektion von optischen Komponenten, Aufbau von Montagesystemen in der Mikroelektronik, AOI (Automatisch optische Inspektion)