Doppel XYZ Wafer Positionierer für Scanner, Mikroskope und Wafer bis 12 inch / 300 mm (Reinraum ISO2) | Hub 720 x 720 x 100 mm
Inspektion und Mikroskopie

Hochdurchsatz-Screening von Wafern bis 12"

Das Inspektionssystem mit Verfahrwegen bis 720 mm erlaubt die gleichzeitige hochdynamische Prüfung mehrerer 300 mm / 6" Wafer. Das komplett betriebsbereite Achssystem, bestehend aus den Achsen, der Granitbasis mit Portal, dem Kabelmanagement und dem Motion Controller ist kundenspezifisch konfigurierbar.

Automatisierte Inspektion im 3-Schicht-Betrieb

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Inspektion von Wafer und Masken bis 12 inch / 300 mm, Interferometrie und Metrologie, Mikroskopie, Materialprüfung, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung