Doppel XYZ Positioniersystem zur automatisierten Inspektion - Wafer / Probe Cards (Reinraum), große Verfahrwege bis 720 mm
Inspektion

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Hochpräzise Qualitätssicherung mit hohem Durchsatz für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.

 

Automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

  • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten
  • Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm
  • Ideal für die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig
  • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optional erweiterbar:

  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
  • Verfügbar auch als Einzelportal
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chips, Messung mit Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

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X

Y

Z

Verwendetes Standardsystem PMT290-EDLM PMT290-EDLM

Verfahrweg

[mm; deg]

720 720 100

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.3 ± 0.5 ± 0.5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 0.7 ± 0.7 ± 0.7

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

750 750 150

Max. Last

[N]

70 70 ± 270

Motor

 

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

 

DC-Motor

Antrieb

 

 

 

Kugelgewindetrieb

Führung

Profilschiene

 

Profilschiene

Kreuzrolle

Feedback

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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