2-XYZ-Phi System mit Nanometerstabilität zur Micromontage und Miniaturisierung
Geräte

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Positionierungshaltegenauigkeit im Nanometerbereich

Diese hochstabile Lasermontageanlage besteht aus einem 8-Achs-Positioniersystem und einem Unterbau, ausgelegt für Reinraumbedingungen ISO 5 und UV-Verträglichkeit. Sie besitzt zwei unabhängig arbeitende Bearbeitungsköpfe (Y1, Y2, Z1, Z2, Phi1, Phi2) auf einer gemeinsamen X-Achse. Die Phi-Achsen werden an der Z-Achse montiert. Damit können 2 Bauteile im Raum exakt zueinander im positioniert und über einen langen Zeitraum im stromlosen, ungeregelten Stillstand stabil gehalten werden.

Es wurde für das Fraunhofer ILT entwickelt. Das Institut hat einen Laser zur Messung der Methan-Konzentration in der Atmosphäre konzipiert, der 2021/2022 im deutsch-französischen Satelliten Merlin zum Einsatz kommt. 

Speziell zur Montage von miniaturisierten Komponenten

  • Hochpräzise Montage von extrem miniaturisierten Komponenten durch eine 3D-Positionsstabilität von 0,05 µm
  • Universell einsetzbar und kombinierbar durch großen Bauraum sowie eine maximale Freiheit bzw. Zugänglichkeit zum Arbeitsbereich
  • Wartungsfrei durch Luftlagertechnik und Riemenantrieb
  • Verfahrbar manuell per Joystick-Betrieb oder über Schrittmotor

Besonderheiten:

  • Bilatal-Beschichtung
  • UV-Verträglichkeit
  • Reinraumtauglichkeit Klasse ISO 5 (DIN EN ISO 14644)
  • Reinraumtaugliche Schmierstoffe und Kabelschleppführungen

Maximale Zugänglichkeit für hochempfindliche Baugruppen

Dieses System steht für Bauräume von 600 x 400 x 200 mm³ zur Verfügung. Der Arbeitsraum, in welchem die Positionierung stattfinden soll, ist mit 430 x 220 x 100 mm³ festgelegt und ermöglicht um 180° schwenken zu können, ohne mit dem Positionierungssystem zu kollidieren (Freifahren).

Die extreme Stabilität wird durch die Kombination aus Gewicht, Einsatz von Luftlagern und starken AC-Servos sowie Kugelgewindetrieb erreicht. Neben den eigens für diese spezielle Aufgabenstellung entwickelten Lösungen wurden für die Z-Achsen Präzisionslineartische PMT160 und für die Drehachsen (Phi) DT130 aus unserem Produktportfolio eingesetzt. Alle der acht Achsen werden mittels Schrittmotoren angetrieben und positioniert. Das Positioniersystem hält die geforderten Spezifikationen ein und hat sämtliche Abnahmetests des Kunden mit Bestnote bestanden.

 

Anwendungsbereiche

Ideal zur Herstellung brillanterer Laser, hochgenaue Sensoren und besser abbildende Optiken, Lasermikromontage, Miniaturisierung von medizinischen Komponenten und Geräten, ausrichten und verlöten von optischen Komponenten in Position, Mikromontage von Herzschrittmachern, Kameras, Insulinpumpen, Packaging Semiconductor, innovative Elektronikpackages, Mikroprozessoren, Mikrochip

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X

Y

Z

Rz

Verfahrweg

[mm; deg]

950 350 150360/n x 360

Positionshaltegenauigkeit

[µm; deg]

± 0.5 ± 0.5 ± 0.5± 0.5

Positioniergenauigkeit

[µm; deg]

200 200 200

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

50 50 1030

Max. Beschleunigung

[m/s2]

0.5 0.5 0.1

Max. Last

[N]

15

Motor

 

Schrittmotor Schrittmotor SchrittmotorSchrittmotor

Anrieb

 

Riemen Riemen KugelgewindetriebSchnecke

Feedback

RiemenRiemenOpen LoopOpen Loop

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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