XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm
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XYZ Inspektionsportal | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor | Hub 720 x 720 x 100 mm - Portale

Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem (hier ohne Abdeckung gezeigt) ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die Positionierung entlang zweier linearer Achsen. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen.

 

Automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

  • Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm
  • Verringerung der Zykluszeit mit Geschwindigkeiten bis zu 750 mm/s und Beschleunigungen mit 2 m/s2
  • Präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen mit Wiederholgenauigkeiten bis 1 µm
  • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Optional erweiterbar:

  • Verschiedene Verfahrwege bis 720 mm
  • Optional mit motorisierter Z-Achse
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 2 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
  • Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium
  • Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

 

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Automatische Inspektion in Reinräumen z.B. 300 mm Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chip, Messung von Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

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X

Y

Z

Verwendetes Standardsystem PMT290-EDLM PMT290-EDLM

Verfahrweg

[mm; deg]

 720 720 100

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

 ± 0.3 ± 0.3 ± 1.5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

 ± 0.7 ± 0.7 ± 2.5

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

 750 750 150
Spitzengeschwindigkeit [mm/s; deg/s] 1500 1500 300

Max. Last

[N]

 150 150 ± 200

Motor

 

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

 AC Servo

Antrieb

 

 

Kugelgewindetrieb

Feedback

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Motor Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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