Portale

Portale eignen sich besonders dann, wenn große Flächen überfahren werden müssen und zu messendes Objekt und Sensor bewegt werden können. Durch diese Aufteilung der Bewegung kommt ein einfacheres System als bei einem Gantryaufbau zustande.

XY Laserpanelstage mit Verfahrwegen bis 2500 x 1500 mm | Positioniersystem X Linearmotor, Luftlager | Y Kugelgewindetrieb, AC-Servo

9-Achs Positioniersystem mit Verfahrwegen bis 100 mm | XYZ DC-Motor, Kugelgewindetrieb, Motor-Encoder | Phi Theta Omega DC-Motor, AC-Servo, Harmonic Drive

XYZ Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor

XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor

XYZ Positioniersystem für die automatisierte Inline Wafer Inspektion z.B. Schichtdickenmessung | Verfahrwege in XY bis 650 mm, Z 100 mm

XXL-Portal mit großem 1000 x 1000 mm Vakuumchuck

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