Doppelportal
Portale
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Vier Reinraumachsen wurden hier zu einem Doppelportal kombiniert. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Die Achsen haben einen Verfahrweg von 820 mm bzw. 720 mm. Im Modell ist die Vermessung mit Dreistrahlinterferometern gezeigt. Die gemessenen Werte für Genauigkeit, Nicken und Gieren werden für die Fehlerkompensation genutzt.
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Tobias Zilian
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