Automatisierte Inspektion von Wafern, Probecards | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor
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Hochpräzise Qualitätssicherung für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem (hier ohne Abdeckung gezeigt) ist speziell für die automatisierte Qualitätskontrolle großer Wafer, Probecards und Leiterplatten entwickelt. Das Positioniersystem erlaubt die Positionierung entlang zweier linearer Achsen. Eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren. Die Steuerung erfolgt über einen separaten Motion-Controller für drei Achsen.

 

Erhöhter Throughput durch automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

  • Gleichzeitige Inspektion mehrerer Wafer, Probecards und Leiterplatten durch Verfahrwege bis 820 mm
  • Verringerung der Zykluszeit mit Geschwindigkeiten bis zu 150 mm/s und Beschleunigungen mit 2 m/s2
  • Präzise Messergebnisse und enorme Qualitätssteigerungen mit Wiederholgenauigkeiten bis 1 µm
  • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Besonderheiten:

  • Reinraumtauglichkeit bis Klasse ISO 1 (DIN EN ISO 14644)
  • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
  • Controller mit Softwarebibliotheken für LabView, C, C++, C#, MathLab und weitere auf Anfrage

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chip, Messung von Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

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X

Y

Z

Verfahrweg

[mm; deg]

820 820 100

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.3 ± 0.5 ± 0.5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 0.4 ± 0.7 ± 0.7

Positioniergenauigkeit

[µm; deg]

± 3 ± 3 ± 5

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

750 750 150

Max. Beschleunigung

[m/s2]

15 15 ± 2

Max. Last

[N]

70 70 ± 270

Motor

 

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

Dynamischer Linearmotor (eisenlos)

 

DC-Motor

Antrieb

 

 

 

Kugelgewindetrieb

Führung

Profilschiene

 

Profilschiene

Kreuzrolle

Feedback

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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