MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5°
Kompakte Mehrachssysteme

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MP410-3 Hochvakuum Aligner bis 10E-6 mbar | XYRz Schrittmotor, Kugelgewindetrieb | Last 5 kg | Hub 15 x 15 x 5° - Kompakte Mehrachssysteme

 

Flächen-Aligner mit Schrittmotor und Kugelgewindetrieb

Mit diesem Aligner werden zwei translative Bewegungen von 15 mm in der Ebene und eine Rotation um die Vertikale von bis zu ± 5 Grad realisiert. Die Bewegung R (Phi) resultiert aus der XY-Bewegungskombination. Der Aligner ist für Lasten bis zu 25 kg ausgelegt. Die Durchlichtöffnung erlaubt eine Transfermessung.
 

Außergewöhnliche Präzision im Hochvakuum

  • Ideal für Transfermessungen unter Vakuum bis 10-6 mbar
  • Ausgelegt für große Proben mit einer Apertur von 235 mm
  • Hohe Wiederholgenauigkeiten bis 1.6 µm bei einer Nutzlast von 25 kg
  • Ideale Kraftübertragung durch einen spielfreien Kugelgewindetrieb
  • Optimiertes Preis-Leistungs-­Verhältnis bei gleichzeitig präzisen Ablaufwerten

Optional:

  • Anpassung an den Prozess: Apertur, Probenhalterung, Zuführung, Sensor
  • Auslegung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Individueller Aufbau mit Gestell, Schwingungsisolierung, Umhausung
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen oder die ganz individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die anwendungsspezifische Positionieraufgabe.

Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
 

Anwendungsfelder

HV / UHV Wafer-Inspektion, Halbleiterinspektion, Halbleiter Justage, Ausrichtung von Proben im Hochvakuum, Analyse, Auf- und Durchlichtmessungen, Transfermessungen, Montageaufgaben, Ausrichten von Teilen vor dem Fügen

 

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X

Y

Rz

Standardsystem

 

LA85

LA85

 LA85

Verfahrweg

[mm; deg]

± 15

± 15

± 5

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 1.6

± 1.6

 ± 0.001

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 2.1

± 2.1

 ± 0.002

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

3030

15

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

606030

Max. Last

[N]

250

250250

Motor

 

Schrittmotor

Schrittmotor

Schrittmotor

Antrieb

 

Kugelgewindetrieb

Kugelgewindetrieb

Kugelgewindetrieb

Feedback

 

Open Loop

Open Loop

Open Loop
Apertur

[mm]

235
Länge x Breite x Höhe

[mm]

545 x 484 x 95

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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