MP200-5 Miniatur-XYZ-Phi-Delta Positioniersystem, 3Z-Tripod auf einer XY Stage, Hexapod Alternative | Hub XYZ 2 x 2 x 2 mm, Ryz 1.5 x 1.5°
Kompakte Mehrachssysteme
782497:006.26
Extrem hochpräziser 5-Achs-Versteller:
bis 20 N Last, bis zu 0.007 µm Auflösung für feinste Zustellbewegungen
Der motorisierte Zentrier- und Nivelliertisch bewegt seine fünf Freiheitsgrade extrem gleichbleibend. Das System kann in allen drei Raumachsen verfahren werden. Zusätzlich lässt es sich in zwei Winkeln in der Ebene verkippen.
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Drahtlose Daten- und Energieübertragung
In Kombination mit einem hochgenauen Drehtisch werden Rundheitsmessungen an zylindrischen Objekten ermöglicht. Als einziger Positioniertisch dieser Art werden die Energie- und Ansteuerungsdaten hierbei drahtlos übertragen. Hierdurch werden präzise Ablaufwerte ohne störende Effekte durch Schleifkontakte realisiert – eine Bedingung für den Einsatz in der modernen Messtechnik.
Anwendungsfelder
Hochgenaue Ausrichtung von Objekten in Fertigungs- und Messeinrichtungen, Rotationstomographie, CT-Vermessungen, 3D-Inspektion von Bauteilen, Rundheitsmessgeräte, Halbleterinspektion, optische Zentriersysteme, Kalibrierungssysteme oder allgemeine Inspektionssysteme.
MP200-5 | X | Y | Z | Rx | Ry | |
Verfahrweg | [mm] | ± 2 | ± 2 | ± 2 | ||
Kippwinkel | [deg] | ± 1.5 | ± 1.5 | |||
Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 1.3 | ± 1.3 |
Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 2 | ± 2 | ± 2 | ± 5.2 | ± 5.2 |
Auflösung | [µm] | 0.007 | 0.007 | 0.007 | 0.007 | |
Kleinster Stellschritt | [µm] | ± 0.07 | ± 0.07 | ± 0.07 | ± 0.18 | ± 0.18 |
Spitzengeschwindigkeit | [mm/s] | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.4 | 0.4 |
Max. Last | [N] | 20 | ||||
Außendurchmesser | [mm] | 200 | ||||
Innendurchmesser | [mm] | 45 | ||||
Höhe in Mittellage | [mm] | 95 | ||||
Gewicht | [kg] | 3.6 |
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Tobias Zilian
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