XZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem
Kombinationen Labortische
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Hochpräzises und modulares 2-Achs-System
Diese XZ-Kombination besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Das XZ-System ist sofort betriebsbereit mit Controller und arbeitet mit zuverlässigen Parametern.
Flexibel, sofort betriebsbereit und getestet
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Optional konfigurierbar:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Anwendungsfelder
Waferinspektion, Schichtmessung, Labortestsysteme, Automatische optische Inspektion (AOI), 3D Aufnahmen, Mikroskopie, Bildgebungssysteme, Mehrachssystem für Laboranwendungen, Qualitätssicherung, 3-Achs Sensorvermessung, Halbeiterinspektion, Waferinspektion
782300:186.26 | X | Z | |
| Verwendete Standard-Komponente | PMT160-DC | PMT160-DC | |
[mm; deg] | 300 | 100 | |
[µm; deg] | ± 0.4 | ± 0.4 | |
[µm; deg] | ± 2.2 | ± 2.2 | |
[mm/s; deg/s] | 25 | 1.12 | |
[N] | 45 | 150 | |
Motor |
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| Antrieb | Kugelgewindetrieb | Kugelgewindetrieb | |
Feedback |
Verwendete Standard Komponenten
PMT160-DC
