XYZ System für Labor- und Waferinspektion | Kugelgewindetrieb, DC-Motor, Kreuzrolle, Linearmesssystem
Kombinationen Labortische

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Hochpräzises und modulares 3-Achs-System

Diese XYZ-Kombination  besteht aus den hochpräzisen und langlebigen Standard-Linearachsen des PMT160. Diese Kombination eignet sich für alle Anwendungen, die perfekte Ebenheit, kleinste Toleranzen für Nicken und Gieren sowie ein gleichmäßiges Ablaufverhalten benötigen. Das XYZ-System ist sofort betriebsbereit mit Controller und arbeitet mit zuverlässigen Parametern.

Flexibel, sofort betriebsbereit und getestet

  • Ideal für den Auf- und Ausbau Ihrer hochpräzisen Messstechnik
  • Sehr hohe Wiederholgenauigkeit bis 0.5 µm
  • Kleinste Schrittweiten und höchste Zuverlässigkeit bei vergleichsweise hoher Positioniergeschwindigkeit von 30 mm/s
  • Perfekte Ebenheit von ± 0.5 bei der Positionierung mittlerer Lasten bis 150 N

Optional konfigurierbar:

  • Unterschiedliche Verfahrwege je Achse von 50 - 300 mm 
  • Rotatorische Bewegungen in Kombination mit DT130 oder DT200
  • Verschiedene Motorvarianten: DC-Motor, Schrittmotor, Linearmotor und Nanomotion
  • Ausführungen für Reinraum ISO 14644-1
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfigurierten Controller inkl. Beispielsoftware

 

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Waferinspektion, Schichtmessung, Labortestsysteme, Automatische optische Inspektion (AOI), 3D Aufnahmen, Mikroskopie, Bildgebungssysteme, Mehrachssystem für Laboranwendungen, Qualitätssicherung, 3-Achs Sensorvermessung

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X

Y

Z

Verwendetes
Standard System
PMT160-DCPMT160-DCPMT160-DC

Verfahrweg

[mm; deg]

300

150

50

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 0.5

± 0.5

± 0.5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 1.5

± 1.5

± 1.5

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

25

25

25

Max. Last

[N]

45 150

150

Motor

 

DC-Motor

DC-Motor

DC-Motor

Antrieb Kugelgewindetrieb Kugelgewindetrieb Kugelgewindetrieb

Feedback

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Linearmesssystem

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

    1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept



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