Halbleiterinspektion | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor
Kombinationen aus Industrieachsen
782300:143.26
Das System besteht aus einem Lineartisch PLT320 (X-Achse), einem Lineartisch PLT240 (Y-Achse) und einem Hubtisch HT240 (Z-Achse).
Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Hubtisch mit einem AC-Motor angetrieben.
| 782300:143.26 | X | Y | Z | |
| Standard System | PLT320-DLM-L | PLT240-DLM-L | HT240-AC-L | |
| Verfahrweg | [mm] | 650 | 300 | 25 |
| Wiederholgenauigkeit unidirektional | [µm] | ± 0.4 | ± 0.4 | ± 0.7 |
| Wiederholgenauigkeit bidirektional | [µm] | ± 0.5 | ± 0.5 | ± 1.2 |
| Positioniergeschwindigkeit | [mm/s] | 790 | 530 | 8 |
| Max. Geschwindigkeit | [mm/s] | 1580 | 1060 | 16 |
| Max. Last | [N] | 150 | 150 | 410 |
| Gewicht | [kg] | 135 | ||
| Länge x Breite x Höhe | [mm] | 1160 x 710 x 320 | ||
| Antrieb | Kugelgewindetrieb | |||
| Spindel Typ | 1412.547/1.12.145.175 P3P | |||
| Spindel Steigung | 1 | |||
| Führung | Profilschiene | Profilschiene | Profilschiene | |
| Motor | Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet) | Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet) | AC Servo | |
| Feedback | Linearmesssystem | Linearmesssystem | Linearmesssystem | |
| Messsystem Auflösungen | 0,1 µm, optional bis zu 0,001 µm | |||
| Optionale Zusatzausstattung | Drehtisch (DT240), Bremse, Probenhalter, Umhausung, Sicherheitskonzept und -technik (Not-Aus, Türschalter, Lichtgitter, Laserscanner, STO, SLS) | |||
| Reinraum Varianten | bis Reinraum Klasse ISO 6 (auf Anfrage) | |||
| Strahlung Varianten | UV (DUV, EUV, Röntgen, Gamma auf Anfrage) | |||
| Varianten Magnetismus | magnetisch | |||
Verwendete Standard Komponenten
HT240-AC
PLT240-DLM
PLT320-DLM
