Halbleiterinspektion | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, DC-Motor
Kombinationen aus Industrieachsen

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Das System besteht aus einem Lineartisch PLT320 (X-Achse), einem Lineartisch PLT240 (Y-Achse) und einem Hubtisch HT240 (Z-Achse).

Beide Lineartische werden mit dynamischen Linearmotoren, der Hubtisch mit einem AC-Motor angetrieben.

Passende Controller

FMC 300

Einbau-Modul für dynamische Anwendungen und hohe Lasten und Spannung.

Verwendete Standard-Komponenten

HT240-AC

Industrietauglicher Hubtisch speziell für hohe Lasten ausgelegt. Ausgestattet mit einem AC-Motor.

HT240-SM

Industrietauglicher Hubtisch speziell für hohe Lasten ausgelegt. Ausgestattet mit einem Schrittmotor.

PLT240-AC

Industrieller Positioniertisch mit einer Breite von 240 mm. Angetrieben durch einen Kugelgewindetrieb und AC-Servomotor.

PLT240-DLM

Industrieller Positioniertisch mit einer Breite von 240 mm. Angetrieben durch einen direkten Linearmotor.

PLT240-SM

Industrieller Positioniertisch mit einer Breite von 240 mm. Angetrieben durch Kugelgewindetrieb und Schrittmotor.

PLT320-AC

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1000 mm Verfahrweg, 2 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

PLT320-DLM

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1500 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

PLT320-SM

Schwerlast Lineartisch, 300 - 1000 mm Verfahrweg, 3.9 µm Wiederholgenauigkeit, 310 kg Last

System konfigurieren

1. Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept
2. System
3. [Umwelt]
4. [Verfahrweg]
5. [Last]
6. kleinster Stellschritt = Wiederholbarkeit (µm)
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