XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm
Gantries
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Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern
Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise beidseitige Inspektionsprozesse mit je 2 kundenspezifischen Sensoren / Mikroskopen für unterschiedliche Messanwendungen. Die erste Z-Achse befindet sich an der stationären Traverse, der zweite Sensor / Mikroskop ist an der Z-Achse unterhalb der Apertur angebracht. Der luftgelagerte Probenhalter bewegt den Prüfling in XY-Richtung zu der Apertur mit den beiden Sensoren an den Z-Achsen, welche jeweils um 100 mm in der Höhe verstellt werden können.
Ideal für automatische beidseitige Inspektionsprozesse
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Optional konfigurierbar:
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Individuelle Erweiterungen und Anpassungen
Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests
Anwendungsfelder
Differentielle Höhenmessung an Konturen von Chips in PCB-Nutzen, Automatisch optische Inspektion z.B. Leiterplatten, Wafer Strukturen, Mikroelektronik, Mikrolinsen, Dünnschicht-Solarzellen, Testsystemen, Erstellung von 3D Oberflächenprofilen, Profilmessung, Schichtdickenmessung, Betrachtung von Oberflächenveränderungen, Rauheit, Krümmung von Oberflächen, 3D Weißlicht-Interferometrie, Inspektion von Medizinischen Implantaten
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| X | Y | Z1 | Z2 |
Verwendetes Standard System | PLT165-DLM | PLT165-DLM | PMT160-DC | PMT160-DC | |
[mm; deg] | 600 | 600 | 100 | 100 | |
[µm; deg] | ± 1.4 | ± 0.7 | ± 0.2 | ± 0.2 | |
[µm; deg] | ± 2 | ± 1 | ± 0.7 | ± 0.7 | |
Positoniergeschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 500 | 500 | 10 | 10 |
Max. Geschwindigkeit | [mm/s; deg/s] | 1000 | 1000 | 20 | 20 |
Max. Last | [N] | 150 | 150 | ||
Motor |
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Antrieb |
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Führung | Profilschiene | Profilschiene | Kreuzrolle | Kreuzrolle | |
Feedback |
| Linearmesssystem | |||
Apertur | [mm] | 70 x 100 | |||
Lange x Breite x Höhe | [mm] | 1850 x 1920 x 1150 |
Verwendete Standard-Komponenten
KGT 1516 / ETA+

PLT165-DLM

PMT160-DC

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Tobias Zilian
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