Hoch kompakter multispektraler adaptiver EUV-Polfilter für trockene, sauerstofffreie Reinstickstoff-Atmosphäre
Serienbaugruppen

782462:002.26

Yield-Maximierung im kleinsten Bauraum

Diese hochpräzise Baugruppe ist speziell als ergänzender Polarisationsfilter für eine EUV-Halbleiter-Applikation entwickelt worden. Dieser maximiert die Belichtungsqualität als auch den Yield eines vorhandenen Wafer-Steppers unter stark begrenztem Bauraum.

Damit bietet Ihnen dieses hochpräzise Positioniersystem wesentliche Vorteile:

1.

Maximierung des Yield sowie der Auflösung von vorhandenen Wafer-Stepper-Systemen auf kleinstem Raum (ca. 120 x 180 x 31mm).

2.

Genauigkeiten von mit 1,5 µm bei extremsten Umweltbedingungen: EUV, trockene, sauerstofffreie Reinstickstoff-Atmosphäre

3.

Wartungsfreier und flexibler 24/7 Betrieb über viele 1.000 Stell-Zyklen, verteilt über 10 Jahre

Optimierung der Genauigkeit in extremen Umgebungen

Die besondere Herausforderung war, dass für diese zusätzliche Applikation nur eine Bauraumgröße von ca. 120 x 180 x 31mm zur Verfügung stand. Zusätzlich waren extreme Umweltbedingungen gefordert: EUV und eine trockene sowie sauerstofffreie Reinstickstoff-Atmosphäre. Interne und externe Entwicklungsprojekte des Kunden konnten bis zu diesem Zeitpunkt diese Anforderungen nicht erfüllen.

Eine hochpräzise, wartungsfreie µm-Positionierung unter diesen Bedingungen ist eine Königsdisziplin. Nur die wenigsten Materialien und Hilfsstoffe können hier zum Einsatz kommen.

Zur Lösung der Kundenanwendung wurden drei, unabhängig voneinander positionierfähige Filter im Strahlengang der optischen Anlage verschoben. Dazu wurde auf sehr eng übereinanderliegende Schlitteneinheiten zurückgegriffen. Diese gleiten in den seitlichen Strukturteilen und werden durch zusätzliche, spezielle Anpassungen in ihrer Gleiteigenschaft optimiert.

Besonders herausfordernd war ebenfalls die vorgesehene Verwendung im trockenen Stickstoff. Umfangreiche Tests wurden vorab durchgeführt um die optimale Materialpaarung für Führungssystem und Gleitgewinde zu finden.

Die geforderte Lebensdauer wurde in einem Testlauf mit vorgegebenem Bewegungsmuster im Vakuum nachgewiesen und beträgt viele 1.000 Stell-Zyklen, verteilt über 10 Jahre.

Spezifikationen

X1

X2

X3

Verfahrweg

[mm; deg]

76

76

76

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 1,5

± 1,5

± 1,5

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 5,5

± 5,5

± 5,5

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s]

50

50

50

Max. Last

[N]

0,05

0,05

0,05

Max. Lastmoment

[Nm]

40

40

8.2

Nicken

[µrad]

± 25

± 25

± 30

Gieren

[µrad]

± 25

± 25

± 15

Auflösung

[µm]

0.1

0.1

0.1

Motor

 

DC-Motor

DC-Motor

DC-Motor

Antrieb

 

Gleitgewindetrieb

Gleitgewindetrieb

Gleitgewindetrieb

Feedback

Motor-Encoder

Motor-Encoder

Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.


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