EUV XY-Theta-Verstellung zum positionieren von Belichtungsmasken
Serienbaugruppen

786001:002.26

µm-Justage für Microstructuring unter extremen Bedingungen

Dieses 3-Achs-Maskensystem ist speziell für die mikrometergenaue Justage von Belichtungsmasken in extrem anspruchsvollen Umgebungen für die hochtechnologische Halbleiterttechnik entwickelt. Die Anwendung erfolgt unter ultravioletter Strahlung und in ultra-trockener Stickstoffatmosphäre.

Damit bietet Ihnen dieses XY-Theta Adjustment System wesentliche Vorteile:

1.Maximierung des Yield bei extremsten Umweltbedingungen: EUV, ultra-trockene, sauerstofffreie Reinstickstoff-Atmosphäre
2.Extrem feine XY-Theta-Ausrichtung von Belichtungsmasken mit bis zu 0.03 µm
3.Flexibles, integriertes Wartungskonzept, wobei das System seitlich aus der optischen Achse heraus in gefahren wird

Hochpräzise Linearachsen unter extremen Bedingungen

Diese Ausrichtungseinheit verfügt über drei Linearachsen mit parallelkinematischen  Aufbau: zwei in X und eine in Y. Die beiden vertikalen Achsen erzeugen sowohl Vertikalhub (gleiche Bewegung) als auch Drehung (gegensinnige Bewegung). Die parallele Anordnung der drei Antriebe ermöglicht eine Beweglichkeit in drei Freiheitsgraden, eine mechanische Überbestimmung ist damit ausgeschlossen.

 

Diese besonderen Umgebungsbedingungen erfordern spezielle Materialien und Schmiermittel. So sind zur Minimierung der Streustrahlung alle Strukturteile mit einer speziellen optimierten Beschichtung versehen, die die ultraviolette Strahlung absorbiert. Zum Einsatz kommt außerdem ein hochspezialisiertes Schmiermittel, dass unter ultravioletter Strahlung eine ausgezeichnete chemische Stabilität sowie eine äußerst geringe Ausgasrate aufweist. Es ist darüber hinaus thermisch stabil, nicht entflammbar und unlöslich in Wasser, Säuren, Basen und den meisten organischen Lösemitteln.

Optimiertes Wartungskonzept

Zur Wartung kann das System seitlich aus der optischen Achse heraus in Service-Positionen gefahren werden. Ein magnetisch vorgespannter Schnellwechselmechanismus sorgt bei Bedarf für einen schnellen und einfachen Austausch der Maske mit nur wenigen Handgriffen. Genauso unkompliziert gestaltet sich die Wartung der Motoren und Initiatoren, die als Wechselbaugruppe ausgeführt sind.

ModellXZRy
Hub [µm; deg] 15050 ± 1.5

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg] ± 1.5± 2.5 ± 0.03

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg] ± 2.5± 3.5 ± 0.05

Spitzengeschwindigkeit

[mm/s; deg/s] 5050

Max. Last

[kg] 3.5
Motor  

DC-Motor

DC-Motor

DC-Motor
Anrieb  KugelgewindetriebKugelgewindetrieb Kugelgewindetrieb
Feedback

Motor-Encoder

Motor-Encoder

Motor-Encoder

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern.


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