Doppel-Linearachse zur Linseneinstellung für Wafer-Stepper
Serienbaugruppen

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Verschiebeachsen für die Verstellung zweier Optiken

Zwei Linsen sollten relativ zueinander und auch gemeinsam miteinander positioniert werden. Da die Einheit Streustrahlung aus dem Belichtungsprozess ausgesetzt ist, muss die Schmierung diesen Bedingungen langfristig standhalten. Die grundlegende Lösung besteht aus zwei Verschiebeachsen auf einem gemeinsamen Führungssystem. Zwei bewegte Schlitten haben jeweils drei Wagen, wodurch sie teilweise ineinander fahren können, um die Linsen möglichst eng zusammenzufahren. Die Antriebe bestehen aus geschliffenen Kugelgewindetrieben, welche mit einem Gleichstrommotor mit Rotationsencoder angetrieben werden. Die Motor-Encoder-Baugruppe ist für einfache Wartung austauschbar gestaltet.

Ausgelegt für extrem trockene Umgebungen

Durch die Wahl eines auf PFPE basierenden Schmierstoffes und einer speziellen Oberflächenbeschichtung wurden die Anforderungen an Reinraumtauglichkeit und UV-Beständigkeit erfüllt. Alle genauigkeitsrelevanten Parameter werden nach der Montage durch einen Messstand verifiziert. Dieser Messstand befindet sich im Reinraum und erfasst Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit, Geradheit, Ebenheit sowie die Stromaufnahme. Zusätzliche Prüfungen werden  ausgeführt, um minimales Spiel in der Lagerung und gleichmäßigen Lauf des Antriebssystems zu gewährleisten.


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