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Vakuum Sonderbaugruppen

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XYZ-System mit Piezobremse (UHV)

Dieses 3-Achs-System mit Verfahrwegen von 5 x 20 x 10 mm ist für Lasten bis 2 kg ausgelegt. Das System ist trockenlaufend, verfügt über eine Piezobremse sowie Gleitgewinde und Schrittmotor. Für die Überwachung der Position ist ein Messsystem integriert.


Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com