Probenmanipulator
Vakuum Sonderbaugruppen

782442:001.26

Hier arbeiten 12 Piezomotoren in Paaren und realisieren einen kartesischen Probenmanipulator mit 6 Freiheitsgraden. Als Sensoren kommen kapazitive Systeme zur Anwendung. Die Piezoaktoren wirken auf Keramikstäbe, welche in gespannten Seilen hängen. Stellinkremente im Nanometer-Bereich wurden realisiert.


Ansprechpartner Vakuum-Sonderbaugruppen

Dipl.-Ing. Elger Matthes

Tel.: +49 (0) 351 88585-0

elger.matthes(at)steinmeyer.com