KDT300-SM
Vakuum / Reinraum Kreuztische

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KDT300-SM - Vakuum / Reinraum Kreuztische

 

Hochlast XY Apertur Stage

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 10 - 100 mm, Repro 0.7 µm, 30 kg Last

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
  • Durchlicht: 80 x 80 mm
Optional konfigurierbar:
  • Mit und ohne Apertur
  • Wahlweise mit Gleitgewindetrieb oder geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT155) für rotatorische Anwendungen
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion
  • Optional mit Controller FMC400/450

Höchste Stabilität im Nanometerbereich, auch im Trockenlauf

Das Positioniersystem mit Durchlichtöffnung wurde aus zwei Lineartischen LT300 zu einem präzisen und hochbelastbaren Kreuztisch für Anwendungen im Hochvakuum, Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung kombiniert.

Das System läuft vollkommen schmierstofffrei. Sein Konzept aus Kreuzrollenführungen und Gleitgewindetrieb ermöglicht enorm hohe Stabilität im Nanometerbereich. Optional kann dieses System mit geschmierten Kugelgewindetrieb für höhere Geschwindigkeiten ausgelegt werden.

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung für große Lasten, Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Biochips, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

KDT300 -10-SM-10-SM-L-50-SM-50-SM-L-100-SM-100-SM-L
Standard System LT300LT300LT300LT300LT300LT300
Verfahrweg[mm] 10 x 1010 x 1050 x 5050 x 50100 x 100100 x 100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 2.8± 0.7± 2.9± 0.4± 2.9± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 4± 0.5± 4± 0.5± 4± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555555
Max. Geschwindigkeit[mm/s]101010101010
Max. Last Fx[N]444444444444
Max. Last Fy[N]444444444444
Max. Last Fz[N]120120120120120120
Länge[mm]370370360360340340
Breite[mm]330330300300300300
Höhe[mm]120120120120120120
Apertur[mm]80 x 80
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback Open LoopLinearmesssystemOpen LoopLinearmesssystemOpen LoopLinearmesssystem
Auflösung Messsystem  0.1 µm 0.1 µm 0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.


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