MT105
Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

782325:142.24, 782325:141.24, 782325:040.24
MT105 - Vakuum / Reinraum Linearachsen und Lineartische

 

Konfigurierbarer Mikrotisch

HV / UHV / EUV, 30 - 100 mm Verfahrweg, 0.4 µm Wiederholgenauigkeit, 5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-11 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten 
  • Verschiedene Motorvarianten: Nanomotion, Piezo Motor oder Linearmotor
  • Kombinierbar zum XYZ Positioniersystem
  • Kombinierbar mit Drehtischen (z.B. DT105) für rotatorische Anwendungen
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Anwendungsbereiche

Halbleitertechnik im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Sensorjustage, Bioprinting, Hochdurchsatz-Herstellung dreidimensionaler Zellsphäroide

Referenzen

Bioprinting-Based High-Throughput Fabrication of Three-Dimensional MCF-7 Human Breast Cancer Cellular Spheroids | Engineering (2015) Vol.1 Issue (2): 269-274 | https://www.engineering.org.cn/EN/10.15302/J-ENG-2015062

 

MT105 -30-2PM-L-50-PM-L-100-PM-L-30-2NM-L-50-LM-L-100-LM-L
Verfahrweg[mm] 30501003050100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.2± 0.2± 0.2± 0.4± 0.4± 0.4
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.3± 0.3± 0.3± 0.5± 0.5± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]555505050
Max. Geschwindigkeit[mm/s]7.57.57.5757575
Max. Last Fx[N]101010444
Max. Last Fy[N]555555555555
Max. Last Fz[N]555555555555
Länge[mm]152
Breite[mm]105
Höhe[mm]25
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Piezo MotorPiezo MotorPiezo MotorNanomotionNanomotionNanomotion
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Feedback Linearmesssystem
Auflösung Messsystem 0.1 µm, optional 0.005 µm 
Optionale Zusatzausstattung Mit bis zu 2 verschiedenen Motoren für die Bewegung hoher Lasten, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch, magnetarm, magnetfrei
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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