HT160
Vakuum / Reinraum Hubtische

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HT160 - Vakuum / Reinraum Hubtische

 

Präziser Hubtisch

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 16 mm, Repro 1 µm, Last 5 kg

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-9 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-9 / trocken bis 10-9 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Präziser Hubtisch für hohe Lasten

Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe. Die Kombination aus Getriebemotoren und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

782331:124.26 -SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 1616
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.7± 1
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.7± 2
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]1.11.1
Max. Geschwindigkeit[mm/s]2.22.2
Max. Last Fx[N]5050
Max. Last Fy[N]5050
Max. Last Fz[N]4545
Länge[mm]348348
Breite[mm]154154
Höhe[mm]5858
Gewicht[kg]55
Antrieb 1214.559/1.8.88.124R P3P
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-9
Schmierung trocken[mbar]bis 10-9
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Motor Schrittmotor
Führung Kreuzrolle Edelstahl, hybrid
Feedback Open LoopLinearmesssystem
Auflösung Messsystem -0.1 µm, optional bis 0.001 µm
Optionale Zusatzausstattung Keil mit Kugelgewindespindel oder Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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