DT155
Vakuum / Reinraum Drehtische

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DT155 - Vakuum / Reinraum Drehtische

 

Hochauflösender Drehtisch mit großer Apertur

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 6, n x 360°, Rep 0.0003°, Speed 300°/s, Last 5 kg

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV bis 10-8 mbar
  • Schmierung: flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 100°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische und magnetarme Ausführung (magnetfrei auf Anfrage)
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Hochpräzise mit dynamischer Bildgebung

Dieser kompakte und flache Drehtisch erreicht im Vakuum extrem hohe Auflösungen bei schnellen Prozessen. Durch das große Durchlicht von 79 mm / 3" können auch große Proben exakt positioniert, vermessen und analysiert werden. Er lässt sich zu anspruchsvollen Mehrachssystemen kombinieren und kann einfach über unsere FMC 400/450 Controller angesteuert werden.
 

Anwendungsfelder

Hochpräzise und dynamische Mikroskopie z.B. Elektronenmikroskop, Ionen-Mikroskop, Rasterelektronenmikroskop, Rastertunnelmikroskop, Beamline-Instrumentierung, Synchrotron, Materialforschung, Materialanalyse, Waferinspektion, Halbleiter Qualitätskontrolle, Halbleiterforschung

 

DT155  -NM
Verfahrweg[deg] n x 360
Wiederholgenauigkeit unidirektional[deg]± 0.0003
Wiederholgenauigkeit bidirektional[deg]± 0.0005
Positioniergeschwindigkeit[deg/s]200
Max. Geschwindigkeit[deg/s]300
Max. Last[N]49
Länge[mm]200
Breite[mm]155
Höhe[mm]35
Gewicht[kg]1.7
Drehteller [mm]Ø 150
Apertur [mm]Ø 79 (3")
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]100
Motor Nanomotion (Piezo)
Lager 2 Dünnringlager, Edelstahl
Feedback Winkelmesssystem 
Auflösung Messsystem 0.00005°
Optionale Zusatzausstattung kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch, magnetarm (magnetfrei auf Anfrage)
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-11 mbar HV / UHV 

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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