LA170
Vacuum / Cleanroom linear stages and axes

782475:031.26; 782475:033.26
LA170 - Vacuum / Cleanroom linear stages and axes

 

Precise high load XYZ linear axis

HV / UHV / EUV, 60 - 130 mm travel, 0.5 µm repeatability, 20 kg load

  • Vacuum: all ranges HV / UHV / EUV up to 10-11 mbar
  • Lubrication liquid up to 10-8 / dry up to 10-11 mbar
  • Max. Bakeout temperature: 120°C
  • Available as magnetic version
Optionally configurable:
  • Material selection and vacuum lubrication adapted to the application
  • Individual adaptation to the installation situation in the chamber
  • Version for clean room ISO 14644-1 (up to class 1 on request)
  • Optional with controller FMC400/450

High precision positioning in X, Y and Z up to 20 kg

It is used as a powerful component for multi-axis systems as well as for scanning multiple samples simultaneously. It enables highly fine positioning with high loads in ultra-high vacuum, even in vertical direction.
 

Application areas

Setup of multi-axis systems, process automation, 3D scanning, sample scanning, positioning of imaging systems, microscopy, analysis of samples, semiconductor inspection, quality assurance in biotechnology and semiconductor technology, research, beamline, accelerator, synchrotron

 

LA170 -60-SM -60-SM-L-130-SM-130-SM-L
Travel[mm]6060130130
Repeatability unidirectional[μm]± 2.8± 0.4± 2.8± 0.4
Repeatability bidirectional[μm]± 4±0.5± 4± 0.5
Positioning speed[mm/s]5555
Max. speed[mm/s]10101010
Max. load Fx[N]196196196196
Max. load Fy[N]196196196196
Max. load Fz[N]196196196196
Length[mm]255255365365
Width[mm]170170170170
Height[mm]70120120120
Lubrication liquid[mbar]up to 10-8   
Lubrication dry[mbar]up to 10-11   
Max. Bakeout temperature[deg]120 
Motor Stepper Motor 
Bearing cross roller bearings stainless steel, hybrid 
Feedback Linear Scale 
Resolution Measuring system 0.1 µm 0.1 µm
Optional featureslead screw with dry lube or ball screw with liquid lube, custom fluorine-free / PFAS-free UHV lubrication, adapter, bore grid, cable / plugs
Variants clean room up to clean room class ISO 6 (higher on request)
Variants beam UV, DUV, EUV (X-ray, gamma on request) 
Variants Magnetismmagnetic   
Variants vacuum  all ranges up to 10E-11 mbar HV / UHV 

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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