HT240
Vakuum / Reinraum Hubtische

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HT240 - Vakuum / Reinraum Hubtische

 

Präziser Hochlast Hubtisch

UHV, DUV / EUV, Reinraum ISO 4, Hub 25 mm, Repro 0.3 µm, 40 kg Last

  • Reinraum: Varianten bis Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV bis 10-9 mbar
  • Schmierung flüssig bis 10-8 mbar / trocken bis 10-9 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optionen:
  • Auf die Anwendung angepasste Materialwahl und Schmierung
  • Ausführung für Reinraum, Vakuum und Strahlung
  • Optional mit Controller FMC400/450
  • Kundenspezifische Entwicklung mit 3D-Entwurf, Prototypen, Serienproduktion

Präziser Hubtisch für hohe Lasten bis 40 kg

Der Hubtisch ist für hochpräzise vertikale Bewegungen unter extremen Bedin­gungen, wie im Hochvakuum, im Ultra­-Hochvakuum geeignet. Aufgrund seines Hub-­Keil­-Prinzips erreicht er seine Parameter trotz geringer Bauhöhe von 90 mm. Die Kombination aus Schrittmotor und einem präzisen Kugelgewindetrieb, wahlweise Gleitgewindetrieb, ermöglicht kleinste Schrittweiten bei vergleichsweise hohen Lasten.
 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung in der Industrie und Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Waferjustage, Waferinspektion, Kamerajustage, Materialforschung, Materialanalyse, Inspektion, Mikroskopie im Vakuum, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron

 

HT240 -SM-SM-L
Verfahrweg[mm] 2525
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 1.7± 0.3
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 2.7± 0.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]2.22.2
Max. Geschwindigkeit[mm/s]4.44.4
Max. Last Fx[N]440440
Max. Last Fy[N]440440
Max. Last Fz[N]410410
Länge[mm]460460
Breite[mm]240240
Höhe[mm]9090
Gewicht[kg]14
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-9
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Antrieb Kugelgewindetrieb 1412./1.12.145.175R P3P
Motor Schrittmotor
Führung Profilschiene Edelstahl, trocken
Feedback Open Loop Linearmesssystem
Auflösung Messsystem -0.1 µm
Optionale Zusatzausstattung Gleitgewindetrieb mit Trockenschmierung oder Kugelgewindetrieb mit Flüssigschmierung, kundenspezifsche flourfreie / PFAS-freie UHV-Schmierung, Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker
Varianten Reinraum  bis Reinraum Klasse ISO 4 (höher auf Anfrage)
Varianten Strahlung  UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage)
Varianten Magnetismus  magnetisch
Varianten Vakuum  alle Bereiche bis 10E-9 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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