3 Axis Beam Aligner
Vacuum / Cleanroom Multi Axes Systems

782300:087.26

 

This positioning system is based on MT53 stages with piezo-drives. Two of those stages are used for xz-motion. Apart from xz another stage of the same make is situated. Because of extreme tight space the corners of each stage and even its linear guide rails had to chamfered.

 

782300:087.26 XYZ
Standard System MT53-5-PMMT53-10-PMMT53-5-PM
Travel[mm]55020
Repeatability unidirectional[μm]± 0.2± 0.2± 0.2
Repeatability bidirectional[μm]± 0.3± 0.3 ± 0.3
Positioning speed[mm/s]555
Max. speed[mm/s]101010
Max. load Fx[N]555
Max. load Fy[N]8.88.88.8
Max. load Fz[N]8.88.88.8
Length[mm]195
Width[mm]75
Height[mm]70
Lubrication liquid[mbar]up to 10-8
Lubrication dry[mbar]up to 10-11
Max. Bakeout temperature[deg]120
Motor Piezo Motor 
Bearing cross roller bearings stainless steel, hybrid, optional full ceramic
Feedback Linear Scale
Resolution Measuring system0.1 µm, optionally up to 0.005 µm
Optional features custom fluorine-free / PFAS-free UHV lubrication, adapter, bore grid, cable / plugs
Variants clean room up to clean room class ISO 6 (higher on request)
Variants beam UV, DUV (EUV, X-ray, gamma on request)
Variants magnetismmagnetic, low-magnetic, magnet-free
Variants vacuum  all ranges up to 10E-11 mbar HV / UHV

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Verwendete Standard Komponenten

MT53-PM

Mikrotisch mit Kreuzrollenführung und Piezomotor für Schrittweiten im Nanometerbereich.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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