MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm
Kompakte Mehrachssysteme

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MP53-3 Miniatur-XYZ-Positioniersystem, kartesisch | XYZ Piezo Motor, Linearmaßstab | Repro ± 0.2 µm | Hub 10 x 10 x 10 mm - Kompakte Mehrachssysteme

 

Hochauflösender Mikropositionierer

Das Positioniersystem MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern realisieren. Wiederholgenauigkeiten von +- 0.005 µm sind mit entsprechendem Linearmesssystem möglich.
 

  • Ideal für schmale Bauräume
  • Auflösungen im Submikrometerbereich
  • Belastbarkeit bis 5 N
  • Zuverlässige und gleichbleibende Qualität durch eine hochpräzise Positionierung

Optional erweiterbar:

  • Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm
  • Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
  • Ausführungen für Vakuum bis 10-11 mbar oder Reinraum ISO 14644-1 Klasse 6 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Anwendungsfelder

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik, Probenvorbereitung, Probenscan, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse

 

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X

Y

Z

Standardsystem

 

MT53

MT53

MT53

Verfahrweg

[mm]

10

10

10

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm]

± 0.2

± 0.2

± 0.2

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm]

± 0.3

± 0.3

± 0.3

Positioniergeschwindigkeit

[mm/s]

5

5

5

Max. Last

[N]

5

5

5

Motor

 

Piezo Motor

Piezo Motor

Piezo Motor

Führung

 

Kreuzrolle

Kreuzrolle

Kreuzrolle

Feedback

 

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Linearmesssystem

Länge x Breite x Höhe

[mm]

90 x 55 x 60

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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