XYZ Positioniersystem für die optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten, Probe Cards (Reinraum) | Hub 200 x 200 mm
Inspektion und Mikroskopie

782300:265.26

Hochstabile berührungslose optische Vermessung

Diese XY-Kombination verfügt über eine separate Z-Vertikaleinheit, an dem ein kundenspezifisches Mikroskop, Kamera oder Sensor montiert werden kann. Der Kreuztisch KT310 mit Schrittmotor auf der Granitplatte bewegt den zu untersuchenden Wafer hochpräzise zum Mikroskop und ermöglicht stabile und hochauflösende Aufnahmen. Sein Konzept mit innen liegenden Motoren, Kreuzrollenführungen und hochpräzisen Kugelgewindetrieben ermöglicht hervorragende Präzision bei optimaler Nutzung des Bauraums.

Hochpräzise Analyse kleinster Details

Ideal für optische Inspektion von Wafern, Leiterplatten und Probe Cards

Leicht adaptierbar auf verschiedene kundenspezifische Mikroskope, Kameras oder Sensoren

Hochpräzise Oberflächeninspektion von Wafern bis 200 x 200 mm

Wartungsarm und mit optimierten Preis-Leistungsverhältnis durch den Antrieb mit Schrittmotor

Optionale Erweiterungen:

Weitere Verfahrwege und Längen
Mit/ohne Gestell und Grundplatte aus Granit oder Aluminium
Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage) z.B. mit Einhausung und mit Absaugung
Individuelle Lösungen für die Kabelführung
Angepasste Vibrationsentkopplung mittels dämpfender Gummizwischenlage oder pneumatischer Dämpfer
Integration in die kundenspezifische Gesamtanwendung

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Inspektion und Mikroskopie großer Proben z.B. Wafern, Chips, Die, Pins, Bonding, Leiterplatten, Solarzellen, Solarpanels, Laser, Oberflächenprüfung, Untersuchung von Ablagerungen, Kratzern, Unregelmäßigkeiten auf der Oberfläche

Spezifikationen

782300:265.26		X	Y	Z
Verwendetes Standardsystem		KT310	KT310
Verfahrweg	[mm; deg]	200	200
Wiederholgenauigkeit unidirektional	[µm; deg]	± 3	± 3
Wiederholgenauigkeit bidirektional	[µm; deg]	± 5	± 5
Positioniergeschwindigkeit	[mm/s]	30	30
Max. Last	[N]	110	110
Motor		Schrittmotor	Schrittmotor
Feedback		Open Loop	Open Loop

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.