XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo
Portale

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XYZ Doppel-Inspektionsportal mit Verfahrwegen bis 720 mm | XY Linearmotor, Profilschiene | Z Kugelgewindetrieb, AC Servo - Portale

 

Hochpräzise Qualitätssicherung mit hohem Durchsatz für Reinraumanwendungen

Dieses Inspektionssystem besteht aus vier Reinraumachsen und ermöglicht die automatisierte Vermessung mehrer Objekte gleichzeitig. Hohe Dynamik und höchste Reproduzierbarkeit werden erreicht. Jeweils eine hochauflösende Kamera bzw. Sensor pro Seite wird relativ zur Probe verfahren um Geometrien zu prüfen, Messungen auszuführen und spezielle Qualitätsmerkmale zu dokumentieren.

Automatisierte und wartungsarme 24/7 Inspektion

  • Ideal zur automatisierten Inspektion von Wafern, Probecards und Leiterplatten
  • Inspektion mehrerer Objekte gleichzeitig durch Verfahrwege bis 720 mm
  • Ideal für die Integration von zwei Prozessen gleichzeitig
  • Wartungsarmer 24/7 Betrieb und flexibles Wartungskonzept durch den schnellen Systemaustausch auf der Granitstruktur

Besonderheiten:

  • Reinraumtauglichkeit für Reinraum ISO 14644-1 Klasse 2 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Anschlüsse für Absaugung und umlaufende Bandabdeckungen
  • Verfügbar auch als Einzelportal
  • Gebrauchsfertige Steuerung mit vorkonfiguriertem Controller inkl. Beispielsoftware

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

 

Anwendungsfelder

Inspektion großer Wafer, Probecards und Leiterplatten, AOI, Qualitätssicherung, Mikroskopie großer Probe, Oberflächenprüfung, Messung von Chips, Messung mit Objekten auf komplizierten geometrischen Formen

 

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Standard System PMT290-EDLMPMT290-EDLM 
Verfahrweg[mm]720720100
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.3± 0.3± 1.5
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.7± 0.7± 2.5
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]750750150
Max. Geschwindigkeit[mm/s]15001500300
Max. Last[N]150150± 200
Max. Probengröße[Ø]12 inch / 300 mm
Länge x Breite x Höhe[mm]1230 x 1200 x 1030
Antrieb LinearmotorLinearmotorServomotor, Kugelgewindetrieb
Motor Dynamischer Linearmotor (eisenlos)Dynamischer Linearmotor (eisenlos)AC Servo
Feedback LinearmesssystemLinearmesssystemMotor-Encoder
Reinraum Varianten bis ISO Klasse 2  
Strahlung Varianten auf Anfrage  

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

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