MP53-3-PM
Vakuum / Reinraum kompakte Mehrachssysteme

Art. ID 212382
MP53-3-PM - Vakuum / Reinraum kompakte Mehrachssysteme

 

Hochauflösender Mikropositionierer

HV / UHV / EUV, 10 mm Verfahrweg, 0.2 µm Wiederholgenauigkeit, 0.5 kg Last

  • Vakuum: alle Bereiche HV / UHV / EUV
  • Schmierung flüssig bis 10-8 / trocken bis 10-11 mbar
  • Max. Ausheiztemperatur: 120°C
Optional konfigurierbar:
  • Verfügbar als magnetische, magnetarme und magnetfreie Ausführung
  • Wahlweise mit hochauflösenden Messsystem für Wiederholgenauigkeiten bis zu 0.005 µm
  • Kombinierbar mit Drehtischen für rotatorische Anwendungen
  • Individuelle Anpassung an die Einbausituation in der Kammer
  • Ausführung für Reinraum ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Optional mit Controller FMC400/450

Miniaturisierter XYZ Manipulator für anspruchsvolle Anwendungen

Der Manipulator MP53 ist ein miniaturisiertes 3-Achssystem für die X-, Y- und Z-Bewegung auf sehr begrenzten Bauraum. Es werden Stellwege von 10 mm realisiert. Der Manipulator ist mit Piezomotoren ausgerüstet und kann somit Stellinkremente von wenigen Nanometern für hochpräzise Anwendungen im Hochvakuum und Ultrahochvakuum realisieren.

 

Anwendungsbereiche

Präzisionspositionierung auf kleinsten Bauraum für Laboranwendungen, Mikroskopie und Halbleitertechnik,  Forschung im Ultrahochvakuum und unter extrem ultravioletter Strahlung, Probenvorbereitung, Probenscan, Probenhandling, Kamerajustage, Sensorjustage, Materialforschung, Materialanalyse, Beamline, Beschleuniger, Synchrotron, Miniaturisierung

 

MP-53-3-10-PM-L
Verfahrweg[mm] 10
Wiederholgenauigkeit unidirektional[µm]± 0.2
Wiederholgenauigkeit bidirektional[µm]± 0.3
Positioniergeschwindigkeit[mm/s]5
Max. Last Fx[N]5
Max. Last Fy[N]5
Max. Last Fz[N]5
MotorPiezo Motor
FeedbackLinearmessystem
FührungKreuzrolle Edelstahl, hybrid, optional Vollkeramik
Länge[mm]90
Breite[mm]55
Höhe[mm]60
Vakuum[mbar]bis 10-11  HV/UHV/EUV
Schmierung flüssig[mbar]bis 10-8
Schmierung trocken[mbar]bis 10-11
Max. Ausheiztemperatur[deg]120
Magnetismus Variantenmagnetisch | magnetarm | magnetfrei

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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Nahezu alle atmosphärischen Standardachsen sind eloxiert mit UHV-Schmierung für Restdrücke bis 10-6 mbar - oder noch besser - verfügbar. Klicken Sie hier für die Übersicht über unsere Standardachsen!

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