XY-2Z 4-Achs-Gantry mit Apertur | XY Linearmotor, Profilschiene, Luftlager | Z Kugelgewinde, DC-Motor | Hub 600 x 600 x 100 x 100 mm
Gantries

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Gantry mit Apertur und beidseitigen Sensor-Positionierern

Dieses XYZ-Gantry erlaubt hochpräzise beidseitige Inspektionsprozesse mit je 2 kundenspezifischen Sensoren / Mikroskopen für unterschiedliche Messanwendungen. Die erste Z-Achse befindet sich an der stationären Traverse, der zweite Sensor / Mikroskop ist an der Z-Achse unterhalb der Apertur angebracht. Der luftgelagerte Probenhalter bewegt den Prüfling in XY-Richtung zu der Apertur mit den beiden Sensoren an den Z-Achsen, welche jeweils um 100 mm in der Höhe verstellt werden können.
 

Ideal für automatische beidseitige Inspektionsprozesse

  • Ideal für punktuelle, differentielle Höhenmessungen unter kontinuierlicher Bewegung
  • Beidseitige Z-Senor-Positionierer für die 70 x 100 mm Apertur
  • Schwingungsgedämpfter Aufbau mit hervorragenden Ablaufwerten für Wiederholbarkeiten bis 1 µm
  • Reduktion der Emission durch luftgelagerte Probenträger
  • Überragende Lebensdauer und Wartungsfreiheit bei 24/7-Betrieb

Optional konfigurierbar:

  • Anpassung der Verfahrwege, Carrier und Längenkombinationen
  • Sicherheitsumhausung und verschiedene Grundplatten
  • Ausführungen ISO 14644-1 (bis Klasse 1 auf Anfrage)
  • Individuelle Lösungsfindung mit 3D-Entwurf für die Positionieraufgabe

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsfelder

Differentielle Höhenmessung an Konturen von Chips in PCB-Nutzen, Automatisch optische Inspektion z.B. Leiterplatten, Wafer Strukturen, Mikroelektronik, Mikrolinsen, Dünnschicht-Solarzellen, Testsystemen, Erstellung von 3D Oberflächenprofilen, Profilmessung, Schichtdickenmessung, Betrachtung von Oberflächenveränderungen, Rauheit, Krümmung von Oberflächen, 3D Weißlicht-Interferometrie, Inspektion von Medizinischen Implantaten

 

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X

Y

Z1

Z2

Verwendetes Standard System PLT165-DLMPLT165-DLMPMT160-DCPMT160-DC
Verfahrweg

[mm; deg]

600

600

100

100

Wiederholgenauigkeit unidirektional

[µm; deg]

± 1.4

± 0.7

± 0.2

± 0.2

Wiederholgenauigkeit bidirektional

[µm; deg]

± 2

± 1

± 0.7

± 0.7

Positoniergeschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

500

500

10

10

Max. Geschwindigkeit

[mm/s; deg/s]

100010002020
Max. Last[N]  150150

Motor

 

Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)Dynamischer Linearmotor (eisenbehaftet)

DC-Motor

DC-Motor

Antrieb

 

 

 

Kugelgewindetrieb

Kugelgewindetrieb

Führung ProfilschieneProfilschieneKreuzrolleKreuzrolle

Feedback

 

LinearmesssystemLinearmesssystemLinearmesssystemLinearmesssystem
Apertur[mm]70 x 100
Lange x Breite x Höhe[mm]1850 x 1920 x 1150

 

Änderungen vorbehalten. Werte gelten für Einzelachsen mit unseren Controllern. Hier angegeben sind typische Werte für eine Standardausführung. Durch individuelle Anpassungen und bei genauer Kenntnis Ihrer Anwendung können deutlich verbesserte Werte erreicht werden.

Angepasstes System für Ihr Gesamtkonzept

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