Hochpräzise Verstellung zweier Optiken

Diese hochpräzise Doppel-Linearachse wurde speziell für Wafer-Stepper entwickelt. Zwei Linsen können sowohl relativ zueinander als auch gemeinsam miteinander positioniert werden, um noch feinere Strukturen bei der UV-Belichtung zu realisieren. Diese Lösung besteht aus zwei Verschiebeachsen auf einem gemeinsamen Führungssystem. Dabei haben zwei bewegte Schlitten jeweils drei Wagen, wodurch sie teilweise ineinander fahren können, um die Linsen möglichst eng zusammenzufahren.

Ultrafeine Belichtung in extrem trockener Umgebung

Ausführliche Messprotokolle

Diese Serienbaugruppe wird viele hunderte Stück pro Jahr gefertigt. Alle genauigkeitsrelevanten Parameter werden nach der Montage durch einen Messstand verifiziert. Dieser Messstand befindet sich im Reinraum und erfasst Genauigkeit, Wiederholgenauigkeit, Geradheit, Ebenheit sowie die Stromaufnahme. Zusätzliche Prüfungen werden ausgeführt, um minimales Spiel in der Lagerung und gleichmäßigen Lauf des Antriebssystems zu gewährleisten.

Individuelle Erweiterungen und Anpassungen

Die Engineering-Leistungen umfassen die Anpassung der Systeme an Ihre Struktur und die gewünschten Steuerungen. Darüber hinaus entwickeln wir Prototypen und passen die Systeme gerne an die Umgebungsanforderungen Ihrer Anwendung an, z.B. Partikelemission, Strahlung, Temperatur, Präzisions-Sonderteilefertigung, Arbeitshöhe, Kollisionsschutz, Sicherheitskonzept, Kompensationsfaktor und -filter, Sensorhalterung, Bremse, Entkopplung, Sonderschmierung, Sonderfarben, Halter, Adapter, Sondermotoren mit Pharmazulassung, Umfangreiche Dokumentationen, Testprotokoll, Lebensdauertests

Anwendungsbereiche

Hochpräzise Linsenjustage, Justage von Wafer, Wafer Positionierung, Sensorjustage