Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie

Für Sie entwickeln für kundenspezifische Lösungen in der Standard-, Elektronenstrahl-und EUV-Lithografie für den Aufbau oder für die Integration in Ihre Anwendung. Hierzu bieten wir Systeme zur Strahlformung, Strahlhomogenisierung bzw. -gleichformung und Zoom z.B. Justage für Microstructuring, Stahlen sowie Linsen Maskenpositionierung oder Filtereinstellung.

EUV-Knowhow
mehr als 10 Jahren Erfahrung

magnetfreie Systeme mit niedrigster Partikelemission.

Mehrere Millionen
Zyklen wartungsfrei

und über die gesamte Lebensdauer geschmiert.

5 nm
und noch höhere Wiederholbarkeit

mit kundenspezifischen Entwicklungen und Controllern.