Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie

Für Sie entwickeln wir kundenspezifische Lösungen in der Standard-, Elektronenstrahl- und EUV-Lithografie. Für den Aufbau Ihres Systems oder für die Integration in Ihre Anwendung. Hierzu bieten wir Systeme zur Strahlformung, Strahlhomogenisierung bzw. -gleichformung und Zoom z.B. Justage für Microstructuring, Stahlen sowie Linsen Maskenpositionierung oder Filtereinstellung.


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